美国安捷伦（原瓦里安）扩散泵AX-65

抽气速率，工作范围

65 L/s 空气，90 L/s 氦气和氢气

最大抽气量

在工作范围内为 0.19T L/s (0.25 mbar L/s)，0.01 torr 时为 0.30 T L/s (0.40 mbar L/s)

压缩比

4 x 107（空气），2 x 106（氦气）

操作范围

3 x 10-3 至低于 5 x 10-8 torr（3.9 x 10-3 至 6.5 x 10-8 mbar）

最大前级耐压

无负载：0.75 torr (1.00 mbar) 满载：0.60 torr (0.78 mbar)

返油率

配备冷帽：低于 2 x 10-4 mg/cm2/min 带挡板：低于 2 x 10-5 mg/cm2/min

推荐前级泵

≥ 1.5 cfm (2.5 m3/h)

预热时间

7 min

冷却时间

10 min

注油量

30 cc

电气要求

单相，50/60 Hz，90/115/165/220 VAC

泵功率

200/250 W

风冷

30 cfm