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精密定位平台的简单介绍精密定位平台，高精密定位平台，六自由度定位平台，并联机器人平台精密定位平台的详细信息负载 500kg 转动精度 10角秒 XY方向转动范围 12度 Z方向转动范围 15 移动精度 2μm XY移动范围 50mm Z移动范围 80m
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