平台规格（长×宽） mm

平台精度等级

1 级

2 级

3 级

平面度公差（ um ）

200×200

10

20

50

300×200

12

24

60

300 × 300

12

24

60

300 × 400

12

24

60

400 × 400

12

24

60

400 × 600

14

28

70

500 × 500

14

28

70

500 × 600

14

28

70

500 × 800

16

32

80

600 × 800

16

32

80

600 × 900

16

32

80

1000 × 750

18

36

90

1000 × 1000

20

39

96

1000 × 1200

20

40

100

1000 × 1500

24

48

120

1000 × 2000

26

52

130

1500 × 2000

28

56

140

1500 × 2500

32

64

152

1500 × 3000

70

174

2000 × 3000

74

184

2000 × 4000

88

219

2500 × 3000

79

186

2000 × 4500

237

2000 × 5000

255

2000 × 6000

292

3000 × 6000

308