薄膜沉积控制仪在模块化的基础上建立了温度测量薄膜控制系统,可以支持扩展4个输入输出口和探头,实时的频率-温度曲线和500℃操作晶体。该仪器设有快速设定菜单、6个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮,易于设定和操作,用于开发、测试和下载过程的程序,以及用于将仪器数据记录到PC进行过程分析与质量控制的程序的过程控制,尤其适用于低沉积速率,测量速率为每秒10个读数,存储容量可达100个过程、1000层薄膜、50种薄膜材料。
操作温度超过1600F/710C时,不能进行测量,否则要损坏仪器,当环境温度低于00C时,PH电极可能会损坏,千万注意,不要超出规定温度范围,把仪器存放在热源附近或在天气炎热的情况下,温度很容易达到或超过1500F,这将导致仪器测量不准。
电极更换电极型号,确认薄膜沉积控制仪型号和序列号,以确保选择正确的电极型号,每台仪器都配有相应的电极型号。
电极清洗电导/TDS/电阻电导池尽可能保持干净,用足量干净水冲洗电极池可防止杂物聚集在电极上,但是很赃的溶液尤其是含鳞状颗粒的溶液,很容易在电池中沉淀形成薄膜,这降低了测试的精确度,一旦形成油膜或有脏物沉积在电极上,就用普通的无腐蚀清洗剂清洗,并用清水润洗干净,就可以准确测试了。
电池的更换:擦干仪器表面,拧开后面四颗螺丝,小心打开后盖,移走后盖,把电池取下,并换上新的9V碱性电池,盖上后盖,拧紧螺丝。因为已安装了不可擦除可读存储器,即使电源断电或更换电池的过程中,存储在记忆器中的记录数据和校正更改设置并不会消失。