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多晶硅装置球阀抱死或发卡的解决方案

作者： 2013年09月27日来源：浏览量：

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在多晶硅装置上球阀发生抱死或发卡的主要原因为： 1.阀座的板簧变形腔，密封性能不好，以致于硅粉进入阀座板簧变形腔，造成板簧被堵死失效后，球阀被阀座抱死从而不能很好的进行开关。

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